- CF in Line System
之玻璃基板傳送設備，包括Loader, Buffer1, Buffer2,
Lifter Conveyor, Unloader - Inspection Station
- Laser Repair Station
- Packer
- Unpacker
系統特色
- Cassette
支撐浮動台設計，輕鬆定位，除可保護Cassette底部外，亦可避
免磨擦而產生粉塵。 - 主架構以鋁擠型模組，搭配Pass Line
以上設置透明之抗靜電板維修窗
，Pass Line 以下設置易拆卸之SUS 維修門。 - 機器人選用 CFRP Fork 取放玻璃，兼具高強度且重量輕之優點。
- 配備 Glass Mapping 功能，可確認Cassette 內之玻璃基板數量及位置。
- 自Cassette 取出Glass時，可作偏斜量之自動補償(Alignment)。
- 重視安全防護，設有Area Sensor、安全插梢、磁簧開關、急停按鈕等。
- 超大人機操作畫頁，操作查修容易。
- 系統規劃周全，可產出最佳經濟效益。
