潔淨室物流設備

 本公司潔淨室物流設備已成功應用於LCD光電，積體電路(6'',8'',12''晶圓) 及電路板上游等產業，並依客戶需求，提供週邊設備之配套規劃，藉標準之介面通訊協定作為 設備與設備間之訊號傳遞，目前已有多項實績完成如下:
MGV 系列產品

1. 積體電路產業  潔淨等級
   晶舟/晶盒移載機  Class1     0.1mm
　 晶舟/晶盒垂直輸送機 Class1     0.1mm
   晶舟/晶盒垂直輸送機   Class1     0.1mm
   晶舟/晶盒垂直輸送機   Class100  0.3mm
   晶片充氮氣垂直循環式自動倉儲 　
   封裝成品及半成品自動倉庫 Class100 ,000
   半成品自動倉庫 Class10 ,000
   FOSB 晶盒充氮氣自動倉庫 Class100
   LCD供料及成品自動倉庫 Class100
   FOSB 搬運車PGV Class100
     
2.  光電通訊產業  潔淨等級
   LCD 搬運車MGV    Class1
   OLED  搬運車MGV   Class100
   LCD 搬運車MGV    Class100
   LCD 濾光片取放自動化系統 Class100
   OLED 真空台車自動牽引系統 Class100
   ITO料架/荃板垂直昇降機 Class100
   手機半成品垂直輸送機 Class10,000
   砷化鎵晶盒垂直輸送機 Class100  0.3mm
     
3.  電路板上游產業  潔淨等級
　 光膜乾阻自動倉庫 Class10,000
     
     

　


Lifter

Stocker



 

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盟立自動化(股)公司
Mirle Automation Corporation
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