產品訊息
新聞中心
無塵室自動門解決方案 發佈日期:【2018/6/20】
訊息負責人: 賴先生 035783280 分機:313
 

在LTPS製程中,因不同製程環境會定義不同的無塵等級,為避免產品傳送跨製程時造成汙染,以及各製程間的氣流穩定性,一般會透過自動門來作為阻絕汙染與氣流持穩的介面,由於自動門在開啟門片時,傳動軌道或滑輪會因摩擦而產生磨耗,因而產生落塵(Particle)。

一般傳送於Array製程的產品無塵等級定義在Class 10,此亦為自動門所需的無塵環境,但市面上自動門能力只能達到Class100,因此盟立開發抑制產塵源的集塵箱。在自動門片傳動處,一般為產塵發源處,利用風機搭配HEPA濾網,在每處發塵源透過吸氣過濾,使其環境可達成Class10,盟立透過氣流模擬,找出發塵處的氣流導引方向,進而導引至過濾室,將落塵透過HEPA濾網淨化,目前已達成G6世代自動門的無塵需求,目前正朝向G10.5世代自動門升級。

隨著面板工藝的精進,世代產品尺寸逐年增長,自盟立公司自主開發3.5世代玻璃設備搬運設備以來,歷經數十年載,已完成10.5世代搬運設備的開發,其周邊設備的能力與開發,盟立也一直以自動化領導者的角色,與產業需求同步,做好萬全的準備,迎接大世代新進設備的挑戰。

無塵室自動門