高速晶圓傳送設備(SORTER/EFEM)
 
 
   
 
產品負責人: 林先生 電話:886-3-5783280 Ext.540
產品詳細介紹
優點:
ISO class 1 高速SCARA機械手加雙牙叉、雙對位器及雙OCR,揀片傳送效率極大化。
Aligner具特殊softtouch軟接觸的夾爪及對位器,可提供高度安全、無污染、高達50μ/0.03°的重現度。
具HEPA - High Efficiency Particulate Air Fan Filter Untis (FFU) 高效顆粒污染控制。
一機可相容8"及12"晶圓,更換尺寸僅需一小時。可用FOUP、FOSB、SMIF及cassette。

簡易人機介面,可靈活設定運送規則。

多種升級選項:正面取放;翻轉晶圓;傳送特殊晶圓(玻璃、超厚或超薄、穿孔或高度翹曲);雙面ID讀取;擴至4/5/6 port。