8"/12"共用智能型高精度晶圓邊緣夾持對位檯(PRE-ALIGNER)
 
 
   
 
產品負責人: 林先生 電話:886-3-5783280 Ext.540
產品詳細介紹
功能:
由兩個軸向伺服驅動機構和晶圓邊緣抓取夾爪組成。該圓盤帶有晶圓中心校正功能,並配有
晶圓缺口探測的感測器。圓盤的邊緣抓取機構具有可程式設計的抓取力感測器,可避免晶圓
在抓取、中心校正、缺口探測、和缺口對正的過程中受傷害。

優點:
● 重複定位精度:50μm/0.03°,定位時間:6秒
● 具軟接觸機械裝置可控制抓緊力
● 可滿足薄片,彎曲,透明,穿孔晶圓之定心
● 8" / 12"共用,完全無需手動改裝