高速晶圓傳送設備(SORTER/EFEM)

product-image
產品負責人:林先生
886-3-5783280 Ext.540

產品詳細介紹

優點:
●ISO class 1 高速SCARA機械手加雙牙叉、雙對位器及雙OCR,揀片傳送效率極大化。
●Aligner具特殊softtouch軟接觸的夾爪及對位器,可提供高度安全、無污染、高達50μ/0.03°的重現度。
●具HEPA - High Efficiency Particulate Air Fan Filter Untis (FFU) 高效顆粒污染控制。
●一機可相容8"及12"晶圓,更換尺寸僅需一小時。可用FOUP、FOSB、SMIF及cassette。
●簡易人機介面,可靈活設定運送規則。
●多種升級選項:正面取放;翻轉晶圓;傳送特殊晶圓(玻璃、超厚或超薄、穿孔或高度翹曲);雙面ID讀取;擴至4/5/6 port。