智慧型渦流及邊緣夾持牙叉(VORTEX & EDGE GRIP END EFFECTOR)

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產品負責人:林先生
886-3-5783280 Ext.540

產品詳細介紹

功能
傳輸翹曲之晶圓-系統偵測晶圓位置,當夾爪下移至距盒內晶圓約2.5毫米時自動停下。渦流區實現無接觸抓取晶圓,晶圓變平整。

優點:
● 厚度50μm ~ 1200μm,凸點或穿孔型晶圓
● 最大允許彎曲:8mm
● 具備軟接觸的邊緣夾持機構
● 可從晶圓上面或下面取晶圓