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CF整廠玻璃面板傳送設備整合系統
產品詳細介紹
盟立FPD傳送系統包含直行、移載、旋轉、暫存等各類輸送機、旋轉工作站、昇降機及存取機,對應G2~G8.5各世代尺寸,整合各式製程設備,提供CF In Line輸送系統完整解決方案。
解決方案介紹
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AMHS Device Control System - TRU & PNP
潔淨室超薄玻璃氣浮傳送系統
OHS-自由換軌的轉向機構
氣浮式輸送系統
玻璃基板廠專用自動化傳送設備
G6 Class 10 Cleanroom Stocker for LTPS
智慧化單站式製程整合系統(AutoSPS, Automatic-Integrated Station-based Process System)
PI 光配向製程(PI RUBBING)
一站式(Turnkey)自動化系統整合服務
Dual Crane Stocker Control System
筑波精工-靜電supporter及其應用
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