光罩清洗機

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產品詳細介紹

在TFT-LCD及觸控製程中,面板上的元件及線路經由黃光製程將光罩上的圖形定義在塗佈光阻的鍍膜玻璃基板上,再經顯影蝕刻及去光阻等步驟一道一道依序堆疊而成。當光罩連續生產一定數量之後,表面可能有粉塵異物或有機物附著而造成圖形異常或影響圖形定義的精確度,因此必須定期清洗光罩。

一般光罩清洗機為旋轉式清洗機,其清洗步驟包含藥水洗、盤刷磨洗、 純水洗及旋轉乾燥等步驟,適用於較小尺寸的光罩清洗之用。盟立開發的光罩清洗機則採用連續式搬送(conveyor-type)清洗方式,光罩玻璃從一端搬入口送進機台後,依序進入藥水噴灑、輪刷清洗、純水噴洗及陣列孔式風刀吹乾之後,從搬出段送出,完成清洗流程。

相較於旋轉式光罩清洗機,連續式搬送清洗機有以下特點。首先,將每個清洗乾燥步驟分開排成一列在各腔體中連續清洗,腔體間有液切風刀隔開,避免交互影響。其次,可同時清洗光罩玻璃之上下兩面,無須翻面。此外,在乾燥步驟上,盟立光罩清洗機採用自行開發之陣列孔式風刀,可適用於各種尺寸及厚度的光罩玻璃,機構簡單,維修方便,而且沒有旋轉式乾燥機構在高速旋轉狀態下玻璃碎裂的風險。

連續式光罩清洗機的另一個特點是可手動放片,亦可自動放片。每個清洗步驟可獨立調整,便於觀察清洗狀態,且tact time短,產量高,可依各種產品作客製化設計。

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