3D曲面玻璃清洗機

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產品詳細介紹

為了降低cover glass與cell段製程完成後的玻璃基板貼合前髒污,可使用溼式清洗機先清洗cover glass。

清洗流程如下:
入料→預洗→藥洗磨刷→水洗段→乾燥→出料

入料段的用途為使用conveyor方式將基板投入清洗機清洗。藥洗磨刷段的用途是使用藥水噴洗動作先讓基板表面髒污與洗劑充分反應,再利用磨刷與基板磨擦動作,去除表面之髒污。

水洗段的用途是使用中壓水洗清洗基板上前製程刷洗下之髒污與藥水,再接二流體製程,利用二流體霧化動作藉以去除20~50μm髒污,最後純水洗動作將基板做最後一次清洗。

二流體是利用壓縮空氣高速流動的原理,使液體變微粒化,產生噴霧,使用噴霧高速衝擊清洗表面,衝擊時產生的衝擊波和膨脹波可在低破壞下發揮清洗效果。

乾燥段的用途是利用白努力風刀將基板上液體去除,並經IR加熱乾燥動作,藉以達到基板乾燥效果。

白努力風刀的技術主要運用Bernoulli’s Principle(白努利原理),在基板表面造成一誘導流場(層流),引導殘留表面及孔內之流體流出,與處理流體置換,達到處理孔內之效果。

白努力風刀的陣列式孔洞為盟立特有的技術,屬於低壓處理方式,其優點為佔用槽體空間小省Layout,可處理更小或超薄的基板,更可處理3D曲面基板,而使用鼓風機透過HEPA產生乾淨風源,比一般狹縫式風刀使用CDA更為便宜。

IR(紅外線)加熱乾燥是利用電磁輻射熱傳原理,以直接傳熱至受熱物體,摒除傳統利用熱風間接傳熱的方式,可避免熱傳媒的能量損失,可節省能源,且加熱迅速,熱源直接滲透受熱物體,縮短乾燥時間,進而改善產品品質提高生產力,並節省設備空間。

出料段的用途為使用conveyor方式將基板送出清洗機並連結Robot或cassette等機構。

盟立清洗機台具有創新元件設計,節能省水省藥,超薄板對應機制,曲面玻璃制御能力及優秀客戶服務團隊等特色,必為清洗機最佳之選擇。

解決方案介紹