Recycle去膜機

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產品詳細介紹

在彩色濾光片(CF, Color Filter)製造流程中, 素玻璃表面依次堆疊製作黑色陣列(BM, Black Matrix), 紅色光阻(R, Red Resin) , 綠色光阻(G, Green Resin) , 藍色光阻(B, Blue Resin), 間隙子( PS, Photo Spacer)和 平坦層(OC,  Over Coat)等多道有機圖層,每個圖層依序經過塗佈前清洗, 光阻塗佈, 曝光, 顯影等循環, 以完成精密的彩色畫素陣列, 每三個RGB子畫素構成一個畫素, 當TFT-LCD的畫素密度(ppi, pixel per inch)愈高,顯示器的畫質解析度愈好, 在高解析度的產品裡,畫素缺陷對產品良率的衝擊愈大。

彩色濾光片產線中的每一道有機層皆可經由特殊配方的藥劑重新洗去重工, 為提高產品良率, 於是將製作過程中檢測篩下有缺陷的在製品收集在一起,藉由再生去光阻機( CF Recycle Stripper)將表面的所有有機層剝除, 以重新投回生產線或轉成控片(Dummy Glass)供機台試機之用。

枚葉式再生去光阻機共三段流程, 分別為藥液剝離段, 水洗段及乾燥段, 藥液剝離段是以高溫強鹼性藥水將玻璃基板表面的有機光阻膨潤浸泡後再經由多重高壓噴淋或機械磨擦方式予以刮除下來¸刮下的光阻渣隨著藥液被過濾機構過濾移除. 玻璃基板經過藥液剝離段後即搬送至水洗段, 水洗段依序有預洗, 連續水洗與最終水洗三區, 在預洗區, 低壓高流量的噴淋機構將玻璃基板表面的藥水置換移除後送入連續水洗區, 接著以中壓, 高壓及二流體噴淋將玻璃表面徹底洗淨, 並送入最終水洗區完成清洗流程, 之後再經由風刀乾燥及完成所有的玻璃再生流程。

經過再生去光阻機後的有缺陷在製品已被還原成素玻璃, 還原後的素玻璃通過一連串的AOI (After Optical Inspection),Mac (Macro Inspection) 品檢分類之後重新投回生產線或轉作控片使用。

解決方案介紹