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產品資訊
2016.05.24
晶圓盒機器人智能傳送系統
在半導體廠內，晶圓多是置於晶圓盒內，在各廠區及各製程設備間傳送。以人力傳送方式多存在不可控制的風險，因此搭配穩定成熟的機器手臂傳送系統取代傳統的人工傳送方式已成趨勢。
盟立自動化累積逾多年的機器手臂應用及系統整合經驗，能依照廠地空間、作業模式、系統功能、產能速度等需求條件，為客戶建置符合安全、潔淨、精準、高效率且具備智能化的傳送系統。
以下為實績範例特點介紹 :
- 跨樓層傳送整合，客製化設計，包含Lifter、ROBOT的製程連結整合傳送系統。
- 上下樓層各設置ROBOT，搭載盟立設計的專用夾持機構，能非常穩定的進行晶圓盒的取放作業。
- 具傳送過程確保潔淨度之對策。
- 系統判讀Bar code確保正確地傳送。
- 遠端監視功能可即時掌握設備異常狀態，縮短排除異常的時間。
- 自動/手動運轉及自動/人工投料等多重模式可供選擇切換。
- 全方位安全裝置，確保人員、物件、設備安全。