OHT 空中走行式搬送系統

盟立自製的高空走行式無人搬運車(OHT)為高架搬送系統,主要搬運Foup至各製程設備間的Load/Unload Port,OHT夾取Foup於高空軌道輸送系統上行進,除可有效節省及利用空間外,另對比傳統人工搬送作業流程,更能大幅提高搬送效率,節省搬送時間。在不占用人員走道的前提下以及廠房高度約2.7米左右即可導入,將無塵室內的空間使用率最大化。藉由高空走行式無人搬運車可以直接存取Stocker load port上的貨物,不受運行路線上的機台/人員等障礙物干涉。

OHT懸吊式空中搬運系統:實現直接搬送與縮短產品週期時間

OHT屬於懸吊式空中搬運系統,配合客戶需求將晶圓盒(FOUP)在不同的製程區間或是跨廠區棟別進行串連搬送。由於不須透過Stocker作為中轉站,全廠性的OHT運用可實現EQ to EQ的直接搬送,大幅縮短載具運輸時間與產品週期時間(Cycle time)。
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