Foup Stocker

在半導體產業的晶圓製程中，為避免外在因素汙染，前開式晶圓傳送盒（Front Opening Unified Pods, FOUP）的搬運載具應運而生。FOUP載具中的晶圓已隔絕多數汙染源，但晶圓本身易受大氣環境影響造成氧化及受潮，又現行技術僅使用儲物櫃來存放等待加工的FOUP，空間使用的效率大為降低，故規劃佈局上以潔淨室搬送系統Stocker來進行產品入出庫管理，盟立FOUP Stocker（如圖一）可令廠房倉儲空間更充分的應用，輔以自動化系統控管入出庫，更能減少人員誤操作的發生率，進一步實現自動化的願景。另外，為因應晶圓容易受大氣環境的氧化汙染與變質影響，製程上使用惰性氣體（氮氣N2）穩定FOUP內環境，避免晶圓產生變質而影響良率。目前業界大都採用人員操作將FOUP搬運至N2櫃進行充填，佔用了多數人力來執行充填作業，盟立N2 FOUP Stocker系統除了整合FOUP進行N2充填，更可經由每次的N2充填狀況，定義出最佳充填間隔時間。此外，藉由設備與設備間相互溝通，進而監控生產狀態，輔以資料分析將問題排除。且Stocker環境亦可進行溫溼度的控管，將可整合相關數據並加以分析，朝智能工廠的目標邁進。