OHT 空中走行式無人搬運車

OHT屬於懸吊式空中搬運系統，有效地利用製程設備的上方空間，架設軌道以及運輸升降機構。軌道長度可由從數百公尺至數十公里，配合客戶需求將晶圓盒(FOUP)或是玻璃傳送卡匣(Cassette)在不同的製程區間或是跨廠區棟別進行串連搬送。由於不需透過Stocker做為中轉站，全廠性的OHT運用可實現EQ to EQ的直接搬送，大幅縮短載具運輸時間與產品週期時間(Cycle time)。國內外中小尺寸TFT-LCD面板廠，廣泛利用OHT進行生產車間玻璃基板或是液晶面板自動化搬運。在半導體領域中，OHT更被國際半導體技術藍圖(International Technology Roadmap for Semiconductors, ITRS)更指定為新一代18吋晶圓廠主要運輸工具，是整廠工廠的命脈，高穩定度與智能邏輯控制將是絕對關鍵。
 

為符合LCD、半導體產業的需求應用，盟立團隊提供LCD panel tray、FOUP、Metal Cassette、Magazine及JEDEC tray等客製化OHT台車，並配合專業AutoMod模擬與靈活軌道設計，建置前期物流搬送的最佳分析與路徑規劃。配合軟體智能邏輯控制，預防OHT車輛發生碰撞堵塞或因等待而造成的閒置，因此能夠大幅提高產能績效以及設備利用率。機構部分採非接觸式供電(HID)與無發塵零件，可達無塵室嚴格的潔淨等級要求(Class10-100以下)。