ZIP Stocker 晶圓儲存設備

盟立集團開發的ZIP Stocker儲存設備,可提高Foup的儲存量,且備被多功能投料口設計,以達到全方位整合Manual Port、AGV Port的各項功能;並附加了氮氣自動填充功能,可確保Foup內晶圓的儲存良率及完整性,擁有更多元及彈性的利用價值。
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