產品資訊
2017.06.16

潔淨室超薄玻璃氣浮傳送系統

隨著面板日益升高的市場需求,使得玻璃基板需求越來越多,因應這龐大的市場需求,各面板廠商無不為了提高生產產量及生產效率,乃至玻璃基板的發展朝向更大尺寸的開發。全球各大面板廠都積極開發跨世代產品,從3.5代(600mm×720mm)、5代(1100×1300mm)、6代(1500×1850mm)、7.5代(1950×2250mm)、8.5代(2200×2500mm)、sharp位於大板府堺市的堺工廠進行的10代(2850×3050mm)廠的建置、到目前BOE 10.5代(2940×3370mm)、CSOT 11代(2940×3370mm),可顯現出各家面板大廠都積極開發更大世代面板開發生產,同時也反映出各面板廠的技術發展領先程度。但在這背後,玻璃基板的尺寸面積一直擴大及變薄,在製程過程中,玻璃的儲存、搬運、包裝的穩定性都將受到極大的挑戰。

目前業界TFT-LCD玻璃基板在生產過程是採用移載平台(滾輪式)接觸式作業,此作業方式容易引起玻璃基板背面的刮傷、污染等問題,進而影響生產良率與品質,大幅增加生產成本。因應上述問題,盟立憑藉著多年在面板產業導入生產自動化的設計的經驗,突破技術上的限制,自行研發出潔淨室超薄玻璃氣浮傳送系統(圖一)。

有別於目前產業界上的氣浮輸送機,盟立潔淨室超薄玻璃氣浮傳送系統可分為以下幾項優勢:
  1. 機種多樣化:目前業界上的氣浮輸送機,只能對應直線輸送,而盟立潔淨室超薄玻璃氣浮傳送系統利用伯努力吸震及3D氣流設計,在玻璃基板與氣浮板之間製造出3D氣流,使玻璃基板在傳輸過程中,能夠更穩定的輸送,不會受到外部環境氣流的影響。因此無論是直線輸送、上升、下降,轉向等輸送都能對應,且由於3D氣流的設計,使氣浮板間的距離最大能擴大到250mm(如圖二),能夠對應機械手臂夾爪的取放,同時也能對應wire cassette設計。
  2. 智能、節能:盟立潔淨室超薄玻璃氣浮傳送系統採用日本DC無刷風扇,高穩定、高效能、高壽命及低耗能,且每具風扇皆獨力控制,透過感應器配合智能控制,在無玻璃基板流過時,能自動降速,待感應器偵測到玻璃基板流入時,會再次啟動,達到節能目的。另外,盟立潔淨室超薄玻璃氣浮傳送系統都有導入智能監控系統,透過監控風扇的運轉效率、風壓的輸出是否正常,來確保玻璃基板能在穩定的狀態下輸送,預防及避免機台的當機,導致玻璃基板毀損,造成成本上的浪費。

盟立潔淨室超薄玻璃氣浮傳送系統
圖一、盟立潔淨室超薄玻璃氣浮傳送系統
 
氣浮板間的距離最大能擴大到250mm
圖二、氣浮板間的距離最大能擴大到250mm
 
以目前的趨勢顯示出,氣浮輸送機將成為未來大尺寸玻璃基板移載輸送的主流技術,盟立潔淨室超薄玻璃氣浮傳送系統更是在此項技術上領域上領先各家廠商,在未來不僅在玻璃基板的移載,此項產品更可以廣泛運用到其他產業產品,例如半導體晶圓、太陽能面板等搬運系統中。盟立自動化在產業界上,經過數十年經驗上的累積,不斷精進技術,配合顧客的需求,研發設計出符合顧客的產品,並秉持著「第一次就完全做對」的嚴謹態度,提供客戶最完善的方案服務,滿足客戶的需求,並成為客戶最信任的夥伴。
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