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產品資訊
2016.11.07
OHS-自由換軌的轉向機構
盟立為六代LTPS製程開發OHS車輛搬運系統(Over Head System)，以驗證Class 10 0.1um潔淨度需求設置。
OHS 為Stocker週邊整合的重要角色，主要負責每一座Stocker製程與成品的運送與管理，其運送物為玻璃卡匣(Cassette)，在Stocker之間運送全由高架組成，節省AMHS 占用空間、降低AMHS 建置成本、提高搬運可靠度及縮短產品產出時間，實現Class 10 0.1um潔淨度控制。
OHS 為Stocker週邊整合的重要角色，主要負責每一座Stocker製程與成品的運送與管理，其運送物為玻璃卡匣(Cassette)，在Stocker之間運送全由高架組成，節省AMHS 占用空間、降低AMHS 建置成本、提高搬運可靠度及縮短產品產出時間，實現Class 10 0.1um潔淨度控制。
本設備主要配置為OHS 車體、轉向機構及軌道系統，OHS車輛搬運系統主要為車體結構及2組可迴轉的轉向車架，在分歧處以轉向機構夾持軌道，以達成分歧過彎的功能，並且能避免產生灰塵，以達到潔淨度的要求。該轉向機構可決定車輛直行或在分歧處轉彎，使長程運送的過程中，車輛可以選擇分岐處作為折返的功能，大幅縮減車輛迴圈運行所需的時間，並提高稼動率。