產品資訊
2016.10.03

OHS-高速卡匣運送車輛系統

盟立公司為 LTPS製程(G6/六代),開發全新OHS車輛搬運系統(Over Head Shuttle System),在2015年已接獲訂單,並於2016年交付客戶使用,目前已有 Class 10 (0.1um)高潔淨度的台灣工程實績。

OHS 系統為無塵室 Stocker 週邊設備整合的重要角色,主要負責每一座 Stocker 製程與成品的運送與管理,其運送物為玻璃卡匣(Cassette),在多座 Stocker 之間運送,其設置全由高架懸吊組成,可節省AMHS 占用平面空間、降低 AMHS 建置成本、提高搬運可靠度及縮短產品產出時間,實現Class 10(0.1um)高潔淨度控制。

盟立公司針對此類型的迴圈車輛系統,其運用在一般環境(非無塵室)的工程實績,已有多年累積的設計經驗,從早期所開發變頻開迴路控制,進展至變頻閉迴路控制,最後發展至伺服閉迴路控制,已獲得各產業客戶的肯定與採用。近年來,因應無塵室環境設備需求,除藉由過去成功開發的技術外,加上近年來無塵室 Stocker 的豐富實務經驗,現已全新發展成功 OHS系統設備,並採台灣自主發展的非接觸電軌的供電系統(HID)。

本設備最大特點,是軌道的 Layout 規劃佈置能夠串接多座 Stocker 系統,走行路徑及軌道形狀沒有受限制,可以為 90度轉彎或U型轉彎或S型曲線路徑等多種配置,可依廠區的空間限制與座落不同位置的 Stocker進行串接,長路徑規劃可利用多處設置分歧軌道,以達到最短路徑的派車功能,大幅減少運送時間,與傳統封閉迴圈(單一迴圈)的軌道路徑大為不同,智慧型派車邏輯在指派任務的同時,軌道上的車輛會自行決定最佳路徑,選擇最快速(最短)的路徑抵達 Stocker,OHS 車輛的直線運行速度最高可達180 (m/min),及轉彎速度為 30 (m/min),其稼動率與車輛數量計算,可經由盟立公司物流模擬軟體計算獲得,同時也備有精密的動態模擬軟體,計算氣流分析狀態,為客戶作全方面的技術支援。
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