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產品資訊
2019.06.14
AMHS Device Control System - LCS 與 N2P機台整合
N2 Purge(N2P)設備是一種運用在半導廠內的設備機台，FOUP載具填充惰性氣體（氮氣N2）以降低晶圓氧化及保持乾燥狀態穩定FOUP內環境。
盟立N2 FOUP Stocker系統整合N2P設備，N2P是以嵌入式模式與Stocker介接，一體式嵌入Stocker儲位，底層通訊是以SEMI E84 8bit模式，N2P與LCS通訊是以SEMI SECS模式，底層與上位系統皆以SEMI標準開發，易於擴充應用；N2P搭配盟立自有Stocker設備客制整合後可因應各家不同FOUP type進行Recipe設定，依各家FOUP載具不同，其填充N2的孔位也不盡相同，所以N2P可以依FOUP進行底板置換因應各家FOUP type，LCS可進行FOUP type 綁定，達到多種FOUP自動填充N2功能。
Control System：
在系統整合方面，盟立LCS有很強的整合能力可以提供客戶良好的上下游系統連結，除監控及記錄N2P狀態、溫溼度，還可將N2P異常等資訊上報MCS，N2P的狀態亦可透過MCS客制上報到MES系統。
N2P與LCS溝通採用WebApi方式，不直接存取DB來降低程式間的耦合與依賴，有比較大的彈性可擴充，LCS架構不變下嵌入各式EQ設備都可使用WebApi進行通訊，大大降低程式整合及開發，可快速因應客戶需求進行軟體調整；經過LCS整合後其相關設備數據亦搜集記錄在LCS系統，方便往後進行大數據分析，讓客戶依據大數據分析調整製程。
盟立提供高可靠度的軟體控制系統LCS，搭配盟立自家的搬送硬體設備，可依客戶需求整合各式設備，提供客戶最佳的Total Solution。以下為LCS & N2P機台整合的功能：
盟立N2 FOUP Stocker系統整合N2P設備，N2P是以嵌入式模式與Stocker介接，一體式嵌入Stocker儲位，底層通訊是以SEMI E84 8bit模式，N2P與LCS通訊是以SEMI SECS模式，底層與上位系統皆以SEMI標準開發，易於擴充應用；N2P搭配盟立自有Stocker設備客制整合後可因應各家不同FOUP type進行Recipe設定，依各家FOUP載具不同，其填充N2的孔位也不盡相同，所以N2P可以依FOUP進行底板置換因應各家FOUP type，LCS可進行FOUP type 綁定，達到多種FOUP自動填充N2功能。
Control System：
在系統整合方面，盟立LCS有很強的整合能力可以提供客戶良好的上下游系統連結，除監控及記錄N2P狀態、溫溼度，還可將N2P異常等資訊上報MCS，N2P的狀態亦可透過MCS客制上報到MES系統。
N2P與LCS溝通採用WebApi方式，不直接存取DB來降低程式間的耦合與依賴，有比較大的彈性可擴充，LCS架構不變下嵌入各式EQ設備都可使用WebApi進行通訊，大大降低程式整合及開發，可快速因應客戶需求進行軟體調整；經過LCS整合後其相關設備數據亦搜集記錄在LCS系統，方便往後進行大數據分析，讓客戶依據大數據分析調整製程。
盟立提供高可靠度的軟體控制系統LCS，搭配盟立自家的搬送硬體設備，可依客戶需求整合各式設備，提供客戶最佳的Total Solution。以下為LCS & N2P機台整合的功能：
- Manual Purge.(手動充填N2)
- Auto Purge.(自動排程充填N2)
- Purge Cycle Hours.(循環充填N2)
- Purge Overtime Hours.(超時回充N2)
- FOUP type setting (FOUP type設定)
- N2P status monitor.(N2P狀態監控)
- N2P Alarm Report.(N2P異常回報)