盟立投入LTPS製程設備,目前已有Cass 10 0.1um潔淨度的實績,Stocker為製程週邊整合的重要角色,主要負責製程與成品的運送與管理,其運送物為玻璃卡匣(Cassette),因產品特性需維持在高潔淨度環境,因此在驗證潔淨度的作法為手持Particle counter進入設備進行量測,此作法耗時與費人工,為此盟立開發可自動充電,且可在自動模式下進行設備落塵量測的PMS(落塵量測系統)。
PMS主要搭配Particle counter、振動計、風速計、溫濕度計等量測元件,集成於玻璃卡匣(Cassette),可在Stocker內任一儲位放置與量測,且與線上產品搬運沒有衝突,可同時進行產品搬運或數據量測,資料透過無線傳輸至上位管理系統,可作為數據分析及大數據資料管理,相較過去需由人工方式攜帶多種量測儀器,且需使設備搬運中止,以利量測的作法,PMS不但是多元整合的量測總成,可穿梭於各式設備,進行數據量測,提高產能效率的好幫手。
盟立投入LTPS製程設備,目前已有Cass 10 0.1um潔淨度的實績,Stocker為製程週邊整合的重要角色,主要負責製程與成品的運送與管理,其運送物為玻璃卡匣(Cassette),因產品特性需維持在高潔淨度環境,因此在驗證潔淨度的作法為手持Particle counter進入設備進行量測,此作法耗時與費人工,為此盟立開發可自動充電,且可在自動模式下進行設備落塵量測的PMS(落塵量測系統)。
PMS主要搭配Particle counter、振動計、風速計、溫濕度計等量測元件,集成於玻璃卡匣(Cassette),可在Stocker內任一儲位放置與量測,且與線上產品搬運沒有衝突,可同時進行產品搬運或數據量測,資料透過無線傳輸至上位管理系統,可作為數據分析及大數據資料管理,相較過去需由人工方式攜帶多種量測儀器,且需使設備搬運中止,以利量測的作法,PMS不但是多元整合的量測總成,可穿梭於各式設備,進行數據量測,提高產能效率的好幫手。