產品資訊
2018.11.29

SEMI-Wafer STK半導體自動化物料搬運系統-晶圓搬運系統

隨著半導體技術的推進,加深了半導體對高生產效率及潔淨度的要求,使自動化物料搬運系統(Automatic Material Handling System,AMHS)在半導體廠內顯得格外重要。在此同時,為了要使自動化物料搬運系統在執行搬運物料的過程更確實,以免在搬運的過程中產生停擺,造成車間缺料而影響整個系統的運作,甚至造成整體產能的延宕,故能提供速度快、精度準、品質好的車間全自動傳送設備整合商,才能符合半導體快速變動的產業特性。

當晶圓製程越繁雜、生產車間越多時,車間轉換的儲存區域就有存在的必要性。在這樣的模式下,Wafer STK可以讓整個自動化物料搬運系統得以順暢的運作,降低等待搬運的時間,進而提升整體搬運系統的效率。
 

Wafer STK-晶圓搬運系統

AMHS是全自動晶圓廠的關鍵因素,盟立現階段已開發出包含天車系統(OHT)用於執行車間中的傳送及料架間的移動,Wafer STK執行車間轉換區域的儲存功能。依各廠現地狀況,也可搭配AGV、Robot、跨樓層Lifter、OHS等自動化傳送設備,目的就要為了達到高度自動化及有效率的智慧物流運籌系統。

有鑑於上述的趨勢,盟立加速在半導體業的全方位解決方案落實,奠基於面板業的經驗累積,加上堅強的研發工程團隊,已能為客戶量身打造符合半導體產業的智能搬送設備系統。目前已有國際大廠陸續導入,盟立期盼接下來能與各半導體大廠攜手合作,持續將整體FAB運用效益極大化。
 
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