產品資訊
2020.06.18

半導體後段封裝自動化工廠 跨樓層解決方案

半導體技術發展近年來已經進入了後摩爾定律時代,技術發展焦點由前段轉為後段封裝技術提升,尤其是5G 、AI人工智慧發展的年代,高階IC產品追求功能複雜化、更高I/O密度需求、產品極小化的目標。

因應5G 、AI的產品發展需求,扇出型晶圓封裝技術FOWLP的發展,可有效滿足高階晶片的要求,堆疊所需的I/O密度,更衍生出扇出型面板級封裝技術FOPLP,晶圓尺寸由8~12吋提升至510*515~600*600mm Panel等級,產能可大幅提升,卡匣重量同步由原8~10kg 提升至40kg以上,此舉,已影響一般後段封裝作業人員搬運卡匣作業程序,可視為產業技術發展的一大挑戰,Semi S8-95作業規範更強調重量已超出作業人員可作業範圍,故自動化設備導入迫在眉睫。
 

後段封裝半導體廠房產線多數空間有限,為有效活化設備周圍可用畸零空間,提升卡匣儲存空間,盟立自動化以多年潔淨室自動化搬送經驗,提出潔淨室Tower Stocker 視為一有效解決方案,現有Stoker占地空間可縮小如同電梯用地,並善用Stoker 主機升降取放能力,升降每分鐘120m/min 速度,進行跨樓層傳送,設備高度設定限制於24m內,相較一般無塵室電梯,更提供儲物空間作為暫存,並加入氣流控制、設計,依舊維持高潔淨度要求。

 
面對後段封裝產業自動化提升的挑戰,如何在有限的產限空間提升最大效益,綜合傳產、面板、半導體各項產業自動化多年經驗,可以提供高度的客製化的設計服務,並導入3D物流模擬輔助,盟立自動化是您最佳的自動化導入夥伴。

 

無塵室Tower Stocker與一般無塵室STK/電梯比較:

 

  • 占地面積小
  • 升降速度快
  • 增加儲存卡匣空間
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