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2018.11.30

Foup Stock應用於半導體產業的解決方案

在半導體產業的晶圓製程中,為避免外在因素汙染,前開式晶圓傳送盒(Front Opening Unified Pods, FOUP)的搬運載具應運而生。FOUP載具中的晶圓已隔絕多數汙染源,但晶圓本身易受大氣環境影響造成氧化及受潮,又現行技術僅使用儲物櫃來存放等待加工的FOUP,空間使用的效率大為降低,故規劃佈局上以潔淨室搬送系統Stocker來進行產品入出庫管理,盟立FOUP Stocker(如圖一)可令廠房倉儲空間更充分的應用,輔以自動化系統控管入出庫,更能減少人員誤操作的發生率,進一步實現自動化的願景。

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2018.11.29

SEMI-Wafer STK半導體自動化物料搬運系統-晶圓搬運系統

AMHS是全自動晶圓廠的關鍵因素,盟立現階段已開發出包含天車系統(OHT)用於執行車間中的傳送及料架間的移動,Wafer STK執行車間轉換區域的儲存功能。依各廠現地狀況,也可搭配AGV、Robot、跨樓層Lifter、OHS等自動化傳送設備,目的就要為了達到高度自動化及有效率的智慧物流運籌系統。

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2018.11.29

AGV- 穿梭潔淨室的全廠自動化整合方案

為滿足客戶所需求潔淨室環境限制, 盟立自動化已經自主發展出一系列AMHS(Automatic Material Handling System)搬運設備, 可依客戶需求修搭載不同規格載具。如Stoker, OHS, OHT等有軌道的傳送設備, 可確保設備傳輸時滿足潔淨等級要求, 儼然已是世界的自動化指標型企業。

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2018.11.28

不怕電壓瞬降!加裝DVC讓您不用再放綠色乖乖

盟立開發DVC-電壓驟降補償設備,就是專門對應SAG的救星,瞬間停電或電壓驟降時, DVC會在2ms內操作變頻器(通常是在1.2ms內以補償交流的方式輸入)完全保護裝置不受到SAG傷害和影響。DVC設計在於主線路出現電壓驟降, 甚至完全瞬間停止的狀態下,以恆定電壓供電, 持續最長達5秒(滿載時間為1秒)。守護設備機台,是實質意義上,有根有據的『乖乖』。 

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2018.06.20

OHT 空中走行式無人搬運車(Overhead Hoist Transfer)

高空走行式無人搬運車(OHT)為高架搬送系統,它能有效地利用廠房立體空間,在不占用人員走道的前提下,將無塵室內的空間使用率最大化。此外,透過模擬分析,OHT更能在無塵室內的物流搬送達到符合客戶稼動率的生產需求。

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2018.06.19

盟立高階及大尺寸玻璃基板搬送之關鍵技術解決方案

在10.5 代線玻璃(玻璃面積約為 8.5 代線的 1.8 倍)搬送過程,由於對應的條件更加嚴苛 (玻璃進製程後的平整度變異加大、更大的玻璃傳送面積所產生的靜電量加大、薄型化的大尺寸玻璃搬送不易… ) 情況下,必須有更先進的技術來降低玻璃運搬過程中可能產生的靜電及刮傷,解決此兩項關鍵問題,才能有效提升良率、快速進入量產階段。

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2018.06.15

STOCKER移載補正技術

盟立運用移載補正技術,可以在人員無法進入或是高處無法確認之條件下確認物品擺放位置是否正確,若檢測出不正確則會自動進行補正,克服人員無法進入確認之障礙,能有效及準確地將產品放回正確位置上。

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2018.06.05

盟立OHT-工業4.0物料搬送系統新關鍵

OHT屬於懸吊式空中搬運系統,有效地利用製程設備的上方空間,架設軌道以及運輸升降機構。軌道長度可由從數百公尺至數十公里,配合客戶需求將晶圓盒(FOUP)或是玻璃傳送卡匣(Cassette)在不同的製程區間或是跨廠區棟別進行串連搬送。由於不需透過Stocker做為中轉站,全廠性的OHT運用可實現EQ to EQ的直接搬送,大幅縮短載具運輸時間與產品週期時間(Cycle time)。

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2018.05.31

OHS-全自動化廠內SHUTTLE CST載具運輸機構

OHS系統實現廠區動線上的高度可規劃性特色,機械構造的特色採用HID供電方式,加上設備內嚴謹的挑選無發塵部件,進而展現Class 10(1um)的高度潔淨控制力。除此之外,OHS系統還有一項極佳優勢,若日後因應客戶產能調節,不用進行複雜改造,直接新增台車就能直接達到降低設備的loading率,因此,奠定OHS系統未來前景的發展性,也驗證盟立自動化含有強大開發的設備能力。

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2018.04.02

工研院攜手盟立發表新款智慧機上盒,助產業邁出智造化第一步

率先與盟立攜手打造IM2 Box,並同時研發出泛用型PI Box,協助第一線業者站穩智造化腳步,落實聯網加值的目標。

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工研院攜手盟立發表新款智慧機上盒,助產業邁出智造化第一步
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2018.03.08

無線監控落塵量測系統(PMS)

LTPS製程設備中,提升良率的重要關鍵為減少發塵量,即控制Particle產生的數量,目前常用的方式為人員攜帶Particle counter針對所需要的區域進行量測,此方式常需要耗費相當的時間與人力,且在stocker區域,2米以上的空間對量測人員而言,有位置及高度的危險限制,因此,盟立推出可無線監控,隨者設備移動的落塵量測設備

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2018.02.22

OHT-節省廠內空間的好幫手

OHT與AGV同為靈活運用之搬運系統,晶圓製造工廠為何採用OHT的主因在於”效率”,除了OHT軌道設置在天花板能暢行無阻外,其中的軌道設計更影響搬送時的速度及流暢度。就連製程設備與彎軌間之距離、彎軌與彎軌間之距離,軌道中心與柱位間之距離皆透過盟立專業人員縝密之計算以及富豐的設計經驗而獲知。

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