EFEM 晶圓傳送設備

EFEM(Equipment Front End Module)為半導體 Loader/Unloader ,可為不同晶圓尺寸提供設備前端上/下料之自動化模組。盟立EFEM可對應載板與半導體產業各式不同製程機台,並依據不同製程需求,提供各式傳送模組,用以達成客戶搬送效率需求。

盟立最新世代EFEM,有以下三項特點:
  • 新式Fork設計(克服載板彎曲)。
  • Tact Time降低: 15S → 11S。
  • Footprint縮小6%。
產品介紹及應用
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