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2018.06.19

盟立高階及大尺寸玻璃基板搬送之關鍵技術解決方案

在10.5 代線玻璃(玻璃面積約為 8.5 代線的 1.8 倍)搬送過程,由於對應的條件更加嚴苛 (玻璃進製程後的平整度變異加大、更大的玻璃傳送面積所產生的靜電量加大、薄型化的大尺寸玻璃搬送不易… ) 情況下,必須有更先進的技術來降低玻璃運搬過程中可能產生的靜電及刮傷,解決此兩項關鍵問題,才能有效提升良率、快速進入量產階段。

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2018.06.15

STOCKER移載補正技術

盟立運用移載補正技術,可以在人員無法進入或是高處無法確認之條件下確認物品擺放位置是否正確,若檢測出不正確則會自動進行補正,克服人員無法進入確認之障礙,能有效及準確地將產品放回正確位置上。

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2018.06.05

盟立OHT-工業4.0物料搬送系統新關鍵

OHT屬於懸吊式空中搬運系統,有效地利用製程設備的上方空間,架設軌道以及運輸升降機構。軌道長度可由從數百公尺至數十公里,配合客戶需求將晶圓盒(FOUP)或是玻璃傳送卡匣(Cassette)在不同的製程區間或是跨廠區棟別進行串連搬送。由於不需透過Stocker做為中轉站,全廠性的OHT運用可實現EQ to EQ的直接搬送,大幅縮短載具運輸時間與產品週期時間(Cycle time)。

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2018.05.31

OHS-全自動化廠內SHUTTLE CST載具運輸機構

OHS系統實現廠區動線上的高度可規劃性特色,機械構造的特色採用HID供電方式,加上設備內嚴謹的挑選無發塵部件,進而展現Class 10(1um)的高度潔淨控制力。除此之外,OHS系統還有一項極佳優勢,若日後因應客戶產能調節,不用進行複雜改造,直接新增台車就能直接達到降低設備的loading率,因此,奠定OHS系統未來前景的發展性,也驗證盟立自動化含有強大開發的設備能力。

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OHS-全自動化廠內SHUTTLE CST載具運輸機構
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2018.04.02

工研院攜手盟立發表新款智慧機上盒,助產業邁出智造化第一步

率先與盟立攜手打造IM2 Box,並同時研發出泛用型PI Box,協助第一線業者站穩智造化腳步,落實聯網加值的目標。

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工研院攜手盟立發表新款智慧機上盒,助產業邁出智造化第一步
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2018.03.08

無線監控落塵量測系統(PMS)

LTPS製程設備中,提升良率的重要關鍵為減少發塵量,即控制Particle產生的數量,目前常用的方式為人員攜帶Particle counter針對所需要的區域進行量測,此方式常需要耗費相當的時間與人力,且在stocker區域,2米以上的空間對量測人員而言,有位置及高度的危險限制,因此,盟立推出可無線監控,隨者設備移動的落塵量測設備

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2018.02.22

OHT-節省廠內空間的好幫手

OHT與AGV同為靈活運用之搬運系統,晶圓製造工廠為何採用OHT的主因在於”效率”,除了OHT軌道設置在天花板能暢行無阻外,其中的軌道設計更影響搬送時的速度及流暢度。就連製程設備與彎軌間之距離、彎軌與彎軌間之距離,軌道中心與柱位間之距離皆透過盟立專業人員縝密之計算以及富豐的設計經驗而獲知。

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2018.02.12

超大世代非接觸式搬送機構元件之概況

在面板製程當中,傳統的滾輪搬送機構或多或少都會在玻璃表面留下輪痕或小刮傷,造成產品的瑕疵或報廢。當玻璃愈來愈薄,解析度愈來愈高,廣視角液晶成為主流,陣列技術由非晶矽走向低溫多晶矽之後,對於面板生產過程中的輪痕要求也愈來愈嚴苛,甚至在部分製程之中不能容許其存在,故而使得輸送過程中不會接觸到玻璃表面的氣浮搬送技術成為一個極佳的解決方案。現有的氣浮機構元件乃是利用較大的空氣流量,在氣浮板與玻璃間形成抵抗重量的矩陣式支撐浮力,期間並佈上白努利吸盤以吸住玻璃防止玻璃飄移。然而傳統的氣浮方案,使用大量的氣流,除了會引起揚塵影響玻璃潔淨度之外,其電力消耗亦頗為可觀,這將在下一世代的非接觸技術或可成為一個有趣的研究話題。

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2018.02.08

盟立可編程伺服控制器SDPLC+為半導體設備Stocker提供最佳的解決方案

企業因應工業4.0的風潮,自動化已成為各家工廠積極發展的方向。許多大廠以無人工廠、關燈生產為其目標,紛紛尋求自動化設備商提供解決方案。盟立身為自動化指標,旗下產品”SDPLC+”控制器就是解決問題之關鍵。「可編程伺服控制器」SDPLC+其特點在於集可程式控制器(PLC) 、驅動器、軸控卡於一體的高科技產品,目前正著手應用於半導體常見的儲料設備(Stocker)。

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2018.01.25

晶圓自動取片機

晶圓自動取片機,以廠內晶圓盒為載具,適用於8吋/12吋晶圓的自動取片,節省舊式半導體檢測機臺人工取放片之時間耗損,半導體機器手臂取放晶圓的過程,減少人員取放的不可控因素,並透過控制系統串聯,可透過操作電腦輕易作業設定,透過SECS/GEM 通訊協定可自行上傳晶圓過片資料,整體而言,有效提升舊式單機自動化程度、減少人員取放異常、人員定點等待的時間、提高晶圓對位準確度。

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晶圓自動取片機
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2018.01.25

潔淨無塵室G10.5世代STOCKER

Clean Stocker為AMHS的重要組成之一,在面板廠內負責玻璃基板原料、在製品或成品的儲存與管理,In-line Stocker建置在製程區上,由Crane負責執行Intra-Bay的搬運工作,取代AGV(或RGV)搬運系統的使用,能節省AMHS占用空間、降低AMHS 建置成本、提高搬運可靠度及縮短產品產出時間。

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